CCZK-DLC 類金剛石鍍膜設(shè)備
搭載非平衡閉合磁控濺射、FCVA 過濾陰極電弧兩類工藝，可在低溫條件下制備含氫、無(wú)氫 DLC 涂層，膜層摩擦系數(shù)偏低，具備減磨、自潤(rùn)滑理化特征。
聯(lián)系地址：江蘇省南通市通州灣示范區(qū)大豫鎮(zhèn)江新路16號(hào)
1.涂層摩擦系數(shù)≤0.15，自帶自潤(rùn)滑效果，可減少外部潤(rùn)滑介質(zhì)使用
2.無(wú)氫 ta-C 涂層硬度可達(dá) 63GPa，具備良好耐摩擦表現(xiàn)
3.沉積溫度區(qū)間控制在 100~200℃，適配受熱易變形的基材加工
4.膜層結(jié)構(gòu)緊實(shí)，可耐受酸堿環(huán)境、鹽霧腐蝕工況
1.自有 DLC 配套工藝方案，降低膜層內(nèi)應(yīng)力，減少開裂、膜層剝離現(xiàn)象
2.可移出式三維工裝轉(zhuǎn)架，工件裝取操作簡(jiǎn)單，適配多種尺寸零部件
3.配套全自動(dòng)控制系統(tǒng)，各類成熟工藝參數(shù)可一鍵調(diào)用
4.支持多款 DLC 膜層制備，匹配不同產(chǎn)品加工工況需求
| 型號(hào) | CCZK-1012-DLC | CCZK-1416-DLC |
| 腔體尺寸 | D1000mm*H1200mm | D1400mm*H1600mm |
| 負(fù)載功率 | 140KW | 170KW |
| 占地面積 | L5400mm*W5200mm*H2900mm | L6155mm*W5050mm*H3210mm |
| 可鍍顏色 | 黑色、深灰色、啞光黑,七彩 | |
| 可鍍膜層 | 含氫 DLC、無(wú)氫 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C；硬度 1500HV~63GPa，摩擦系數(shù)≤0.15 | |
| 真空系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵（深冷系統(tǒng)可選） | |
| 極限真空 | 5*10??Pa | |
| 轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng) | 行星自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)系統(tǒng) 6/8/10/12/16軸 | |
| 鍍膜系統(tǒng) | CKB?平面濺射陰極 / CKB?圓柱濺射陰極 / IET?離子蝕刻源 / 分布式 MFC 氣路 / HIPIMS 濺射 | |
| 電源 | 脈沖直流濺射電源 / 雙極濺射電源 / 射頻濺射電源 / 脈沖偏壓電源 / HIPIMS 電源 / IET?蝕刻源電源 | |
| 操作系統(tǒng) | 全自動(dòng)（IPC/PLC）+遠(yuǎn)程操作+報(bào)警系統(tǒng) （支持OPC-UA Link協(xié)議） | |
| 備注 | 具體配置大小均可根據(jù)客戶的鍍膜產(chǎn)品要求進(jìn)行設(shè)計(jì) | |
適配發(fā)動(dòng)機(jī)活塞、滑動(dòng)密封配件、有色金屬切削刀具、醫(yī)療器件、手機(jī)精密零部件、金屬表帶、首飾制品鍍膜加工，可制備含氫 DLC、無(wú)氫 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C 多種涂層，呈現(xiàn)黑色、深灰色、啞光黑、七彩外觀效果。膜層硬度區(qū)間 1500HV~63GPa，摩擦系數(shù)≤0.15。
