CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備
采用平面、旋轉(zhuǎn)磁控濺射工藝，可制備結(jié)構(gòu)均勻的金屬及化合物膜層，適配多種基材與不同鍍膜加工工況
聯(lián)系地址：江蘇省南通市通州灣示范區(qū)大豫鎮(zhèn)江新路16號(hào)
1.膜層排布均勻緊實(shí)，膜層與基材結(jié)合狀態(tài)穩(wěn)定
2.工藝參數(shù)可控，批次加工效果一致性較好
3.支持低溫鍍膜工藝，降低熱敏基材受熱形變概率
4.靶材消耗損耗可控，長期運(yùn)維支出適中
1.支持平面靶、圓柱旋轉(zhuǎn)靶兩種配置，適配多款產(chǎn)品鍍膜生產(chǎn)
2.搭載全自動(dòng) PLC 控制系統(tǒng)，人機(jī)操作流程簡易
3.支持單層、多層復(fù)合膜層制備，膜層雜質(zhì)含量低
4.工裝架可適配常規(guī)尺寸、異形零部件同步鍍膜
| 型號(hào) | CCZK-700-SF | CCZK-1012-SF | CCZK-1416-SF | CCZK-1618-SF | CCZK-1820-SF |
| 腔體尺寸 | D700mm*H700mm | D1000mm*H1200mm | D1400mm*H1600mm | D1600mm*H1800mm | D1800mm*H2000mm |
| 負(fù)載功率 | 58KW | 75KW | 175KW | 230KW | 255KW |
| 占地面積 | L4200mm*W4200mm*H2300mm | L5400mm*W5200mm*H2900mm | L6155mm*W5050mm*H3210mm | L6500mm*W4750mm*H3200mm | L7800mm*W5200mm*H2600mm |
| 可鍍顏色 | 金色、銀色、槍黑、玫瑰金、藍(lán)色、灰色、透明色等 | ||||
| 可鍍膜層 | 純金屬膜、合金膜、化合物膜；硬度500~3000HV，膜層致密耐磨 | ||||
| 真空系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵（深冷系統(tǒng)可選） | ||||
| 極限真空 | 5*10??Pa | ||||
| 轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng) | 行星自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)系統(tǒng) 6/8/10/12/16軸 | ||||
| 鍍膜系統(tǒng) | CKB?平面濺射陰極 / CKB?圓柱濺射陰極 / IET?離子蝕刻源/分布式 MFC 氣路 / HIPIMS 濺射 | ||||
| 電源 | 脈沖直流濺射電源 / 雙極濺射電源 / 射頻濺射電源 / 脈沖偏壓電源 / HIPIMS 電源 / IET?蝕刻源電源 | ||||
| 操作系統(tǒng) | 全自動(dòng)（IPC/PLC）+遠(yuǎn)程操作+報(bào)警系統(tǒng) （支持OPC-UA Link協(xié)議） | ||||
| 備注 | 具體配置大小均可根據(jù)客戶的鍍膜產(chǎn)品要求進(jìn)行設(shè)計(jì) | ||||
適用于五金裝飾零部件、家電玻璃、汽車配件、3C產(chǎn)品、光學(xué)鏡片、玻璃美妝包裝、半導(dǎo)體元器件鍍膜加工，可制備純金屬膜、合金膜、化合物膜，呈現(xiàn)金色、銀色、槍黑、玫瑰金、藍(lán)色、灰色、透明色等多種外觀效果。膜層硬度區(qū)間 500~3000HV，膜層結(jié)構(gòu)緊實(shí)，具備耐摩擦理化特性。
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