技術領域：
本發(fā)明涉及一種真空鍍膜機清洗設備，尤其涉及一種對真空鍍膜機清洗機部件中冷卻管路進行清洗的設備。
背景技術：
物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,簡稱PVD),是一種利用物理方式在基材上沉積薄膜的技術。物理氣相沉積設備的冷卻系統(tǒng)主要作用在于冷卻設備零部件，如真空泵組，油擴散泵，反應室腔壁，靶源等。為了實現(xiàn)對設備整體的冷卻效果，目前的PVD設備一般采用流道式冷卻，通常情況下，對需要冷卻的部件，出于部件需要有防腐蝕功能的考慮，此類部件通常采用不銹鋼或其它具有較強耐腐蝕功能的材料。冰水機將冷卻后的水泵入上述需要冷卻的零組件，冷卻后經(jīng)由相應管道最終回流至冰水機中，實現(xiàn)一個冷卻水循環(huán)。但在實際生產(chǎn)過程中，由于所用冷卻水水質(zhì)等以及其它未可知的原因，在上述如反應室外壁，擴散泵外壁冷卻水管道，尤其嚴重的是靶源等部件中產(chǎn)生污垢沉淀現(xiàn)象，更為常見的情況是，腐蝕后產(chǎn)生的黃色懸浮物彌散于冷卻水中，并隨冷卻水進入上述所有需要冷卻的部件并逐漸沉積于其中，導致有效冷卻水流量下降，影響冷卻效果。對沉積于擴散泵外壁冷卻管道和反應室儲液腔體之中的上述腐蝕物，通常采取的辦法是將靶源拆卸下來進行大清洗和保養(yǎng)，這將耗費較多的人力成本，并容易造成停工損失。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供了一種結(jié)構簡單、使用方便的真空鍍膜機清洗設備。一種真空鍍膜機清洗設備，用于對真空鍍膜機部件中冷卻管路清洗，真空鍍膜機清洗設備包括儲液裝置，該儲液裝置包括儲液腔體、出液管和回液管，該出液管和回液管上分別設置若干出液支管，該回液管上設置有若干回液支管，該出液支管與真空鍍膜設機中冷卻管路一端連通，該回液管與冷卻管路的另一端連通，該儲液裝置的一端連接有高壓氣栗。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明提供的清洗真空鍍膜機冷卻管路清洗設備可以有效清除真空鍍膜機部件的冷卻管路中沉積的腐蝕物，可以明顯縮短設備保養(yǎng)周期和降低保養(yǎng)成本，節(jié)約了時間成本和人力成本。
權利要求
1.一種真空鍍膜機清洗設備，用于對真空鍍膜機部件的冷卻管路清洗，其特征在于:真空鍍膜機清洗設備包括儲液裝置，該儲液裝置包括儲液腔體、出液管和回液管，該出液管和回液管上分別設置若干出液支管，該回液管上設置有若干回液支管，該出液支管與真空鍍膜設機的冷卻管路一端連通，該回液管與冷卻管路的另一端連通，該儲液裝置的一端連接有高壓氣泵，以向儲液腔體內(nèi)充入高壓氣體，使出液管和回液管內(nèi)充滿清洗液。
2.如權利要求1所述的真空鍍膜機清洗設備，其特征在于:所述儲液裝置上分別設有補液閥門和充氣閥門，該補液閥門控制向儲液裝置的儲液腔體內(nèi)補充清洗液體，該充氣閥門與高壓氣泵連接，用于向其儲液腔體內(nèi)充入氣體。
3.如權利要求1所述的真空鍍膜機清洗設備，其特征在于:所述在該儲液裝置的出液管和回液管的根部分別設置有出液管閥門和回液管閥門，該閥門用于控制儲液裝置的儲液腔體內(nèi)的清洗液進出。
4.如權利要求1所述的真空鍍膜機清洗設備，其特征在于:所在真空鍍膜設備中待清洗的部件為靶材、反應室墻壁 及泵組。
全文摘要
一種真空鍍膜機清洗設備，用于對真空鍍膜機部件中冷卻管路清洗，其包括儲液裝置，該儲液裝置包括儲液腔體、出液管和回液管，該出液管和回液管上分別設置若干出液支管，該回液管上設置有若干回液支管，該出液支管與真空鍍膜設機中冷卻管路一端連通，該回液管與冷卻管路的另一端連通，該儲液裝置的一端連接有高壓氣泵。本發(fā)明克服傳統(tǒng)真空鍍膜機清洗設備鍍膜室冷卻效果不好的問題，且加工成本低。
